顯微光致發(fā)光光譜儀，用于穩(wěn)態(tài)光譜和壽命測(cè)量  晶圓表面缺陷快速分析

MicOS顯微系統(tǒng)可提供完整的顯微光譜測(cè)量解決方案，它主要包括一個(gè)直接與光譜耦合的顯微探測(cè)頭和一個(gè)高性能三光柵成像光譜儀，該光譜儀可同時(shí)接三個(gè)探測(cè)器。

• 覆蓋200nm-1600nm的寬光譜范圍，可廣泛應(yīng)用于各類(lèi)材料的測(cè)量
• 獨(dú)特的內(nèi)置數(shù)碼相機(jī)設(shè)計(jì)，可以實(shí)時(shí)觀察樣品
• 可提供物鏡朝下或物鏡側(cè)向的兩種配置選擇，便于測(cè)量放置在正置低溫恒溫器中的樣品
• 能與多種激光波長(zhǎng)匹配，擁有極強(qiáng)的靈活性，并且易于操作
• 晶圓表面缺陷快速分析
  
•