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HORIBA STEC質量流量控制器基于多年來引領尖端技術產品的市場發展經驗，提供的一系列滿足客戶需求的質量流量計產品。
HORIBA STEC質量流量控制器被廣泛地運用于各種工業領域，從太陽能電池、燃料電池的研究和制造，到半導體、液晶面板和電子行業中使用的發光二極管（LED）的研究和制造。在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制，顯著地提高了工作效率，進而節約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發展，為制造工藝，包括半導體、光電和LED的制造提供服務，并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。
HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
工業爐、熱處理爐用可燃燒氣體控制
針焊用可燃燒氣體控制
氫氣 、氧氣、丙烷、氬氣等為首的各種可燃燒氣體的流量控制
清洗氣體的流量控制
實驗裝置上的氣體流量控制
要求需要自動化的流量控制設備
希望把握所消耗流量總量的設備等
| 適用氣體種類*1 | N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 | N2、O2、Air、H2 | ||
| 氣體接觸部材質 | SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 | |||
| 閥門型號 | 非通電時 關閉 | |||
| 標準流量量程 (N2相應F.S.) | 50/100 SLM | 200 SLM | 300/500 SLM | |
| 流量控制范圍 (適于SEC系列) | 5?100% F.S. | |||
| 流量測量范圍 (適于SEF系列) | 0?100% F.S. | |||
| 響應速度 | 1秒以內(T98) | 2秒以內(T98) | ||
| 流量精度 | ±1% F.S. | ±2% F.S. | ||
| 直線性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 反復性 | ±0.5% F.S. | ±1% F.S. | ||
| 工作差壓值值(適于SEC系列) | 100?300kPa(d) | 200?350kPa(d) | ||
| 使用壓力 (適于SEF系列) | 350kPa(G)以下 | |||
| 耐 壓 | 1MPa(G)以下 | |||
| 外部泄漏率 | 1×10-7Pa?m3/s(He)以下 | 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內 | ||
| 使用環境溫度 | 5?45℃(精度的確保：15?35℃) | |||
| 流量設定信號 | 0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. | |||
| 流量輸出信號 | 0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ) | |||
| 驅動電源 | ＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA | |||
| 標準接頭*2 | 3/8SWL 類型 | 1/2SWL 類型 | ||
*1:關于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
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HORIBA 公司成立于1945年，總部設于日本京都，最初產品為pH計。HORIBA于1950年開發成功了日本第一臺玻璃電極pH計， 1971年3月公司成為上市公司，1982年進入東京和大阪股票交易所一版，至2000年底，公司資產總值已達910億日圓，年銷售額710億日圓，員工總數達3000多人。現已與全國多家企業及科研機構建立了良好的合作關系。HORIBA的年對華貿易額已達4億5千萬日圓。
現在HORIBA已經發展成為擁有37個成員公司的企業集團-HORIBA GROUP，并在工業化國家均設有常駐機構。作為世界上分析與檢測設備制造商，HORIBA在半導體、醫療、汽車行業、自然科學及環境保護等領域為世界各地的客戶提供高品質的產品。 HORIBA公司分別于1993年和1996年獲得了ISO9001和ISO14001的認證。
HORIBA STEC SEC-Z500X質量流量控制器
HORIBA SEC-N100氣體流量控制器：http://www.gpbao.cn/news/show-279.html 型號SEC- (質量流量控制器)E60E70E80SEF- (質量流量計)E60E70E80
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